高精度光栅尺采用超低膨胀系数的光学玻璃基体或钢带材质,通过纳米级光刻工艺与全密封封装技术,实现分辨率达0.1μm、线性精度±1μm/m的精密位置反馈。产品覆盖绝对式与增量式编码类型,适配直线导轨、数控机床及半导体光刻设备,支持SSI、FANUC、HEIDENHAIN等主流协议接口。表面镀金反射膜层与自适应温度补偿算法,确保在±0.5℃/m温漂下仍保持纳米级稳定性,抗振等级达20G,防护等级IP67,可在油污、粉尘环境中长期免维护运行。通过ISO 1295动态精度校准与EMC抗干扰测试,为高端制造、检测仪器及机器人定位系统提供全闭环控制的核心感知单元,赋能微米级加工精度的可靠保障。